【時報記者沈培華台北報導】全球唯二生產高階製程儲存與運輸極紫外光（EUV）光罩盒的美商英特格（Entegris）技術長James A. ONeill表示，英特格拿到目前使用EUV的三家客戶訂單，對自家提供的解決方案有信心，也與台廠有密切合作。英特格台灣區總經理謝俊安表示，台積電明年5奈米製程開始量產，看好EUV明年的需求成長。

英特格技術長James A. ONeill表示，半導體高階製程越來越困難，尤其進入5奈米，須與客戶一同應對挑戰，提供完整的解決方案，英特格對於材料及化學品及清洗都有新的產品，可提供全方位解決方案以提升良率，並強調是唯一可提供完整解決方案的材料公司。

目前全球半導體廠僅有三家有能力持續推進先前製程，尤其台積電(2330)預計明年率先量產5奈米，帶動台灣明年半導體業的前景仍樂觀。英特格證實，自家也有拿到需使用EUV的三家客戶，即台積電、三星及英特爾，並密切與台灣的客戶合作。

英特格技術長James A. ONeill今日表示，英特格的能力是有目共睹，經使用者驗證過，也經由業界組織測試，對自家有信心。與家登(3680)的訴訟案則會尊重法院。

英特格台灣區總經理謝俊安表示，5奈米製程對於EUV光罩盒的需求更為明顯，今年下半年就已看到需求比上半年好，並看好EUV光罩盒明年的需求成長更為顯著。

全球先進製程採用的微影技術將全數轉向EUV，英特格與台灣的競爭對手家登同步看好明年EUV光罩盒的成長力道。台積電採用EUV的7+奈米今年已經量產，5奈米將在明年進入量產。三星晶圓代工採用EUV的7奈米同樣進入量產。英特爾也已啟動採用EUV的7奈米製程研發及試產。

隨著人工智慧、5G、物聯網、車聯網等應用驅動半導體製程持續演進，特用化學原料暨先進材料的龍頭供應商英特格（Entegris）持續在更精密且複雜的製程中，為全球客戶提供全方位的解決方案，其中更潔淨的材料輸送扮演相當重要的角色。英特格在台深耕，並參與2019年SEMICON Taiwan國際半導體展，展示為全球客戶提供全方位的解決方案。