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產業:外傳英特格EUV Pod出貨台積電,業界指出消息不正確

財訊新聞   2021/07/21 12:10

【財訊快報/記者李純君報導】今早市場傳出,英特格(Entergris)將供貨台積電(2330)南科廠EUV光罩盒,但此消息一出,即遭到供應鏈打槍;業者表示,一來此產品有專利,二則英特格高雄廠生產的是化學材料,三者英特格目前在承載設備部分,只供應台積電八吋Cassette晶舟盒;因此台積電的EUV光罩盒訂單依舊屬於台系供應商家登(3680)所有。

近年來英特格與家登在光罩盒等承載設備上戰火激烈,也曾爆發專利糾紛,並順利和解,而在先進製程專用的EUV光罩盒部分,家登明顯勝出,更在台積電積極扶植本土供應商的大方針下,家登穩健握有台積電訂單,此外家登的EUV光罩盒也陸續獲得美系半導體龍頭廠、三星記憶體與邏輯代工廠等全球一線廠商訂單。

而今早傳出,英特格將開始供應EUV光罩盒給台積電南科廠與美國亞利桑那州廠,但此事可能性微乎其微;業者分析,此產品有專利,台積電南科廠要改變供應商的可能性不高,再者,美國亞歷桑納廠現在還在蓋,等到EUV光罩盒要供貨已經是兩年以後,另外,英特格至今供貨台積電承載產品的主要是八吋的Cassette晶舟盒,最後提到的是,英特格的光罩盒都是在美國廠區產出的,台灣的高雄廠以生產化學材料為主,並非光罩盒。

英特格去年底宣布未來三至五年,將在台灣投資2億美元在高雄設廠,公司也揭露,新廠主要是以研發生產半導體先進製程用的化學材料、流體過濾器、電子級化學品容器及工業材料特殊塗層為主,提供半導體產業上、中、下游廠商的先進製程原料及微污染解決方案,高雄廠預期將新聘200人,新廠預定2023年量產。

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