【時報-台北電】因應半導體產業持續蓬勃發展及產業人才需求，台灣大學重點科技研究學院在國科會「半導體學院重點設備建置專案計畫」支持，於台大水源校區卓越研究大樓建置先進半導體製程研究場域，攜手台積電、力積電、群創等國內科技業者，共同培育研發人才。目前國科會已投入約3億元，台大校方則挹注約1億元，建置11台先進製程及量測設備，涵蓋8項晶圓製程，打造產學合作及半導體人才培育的重要研發平台。

在台大水源校區卓越研究大樓內建置的半導體先進製程研發平台，設有無塵室及量測設備，包含解析度可達8奈米的電子束微影、原子層薄膜沉積與蝕刻，以及奈米材料與半導體元件量測等11台設備，可支援8吋晶圓製程，串聯元件製作、製程開發及分析驗證，提供一站式研發服務，並打造開放各大學及產業界使用的共享創新研發平台。

計畫執行團隊代表、台大重點科技研究學院教授陳建甫表示，台大部分由重點科技研究學院執行，經費則由國科會投入約3億元、台大校方自籌約1億元，用於建置設備及研發環境。無塵室平台近3年累計使用人次突破1萬2000人，其中近3成來自校外學術單位及產業界，透過建構半導體製程共享平台，串聯台北地區及其他區域的研發需求，進一步強化區域技術創新與半導體人才培育能量。（新聞來源：中時即時 李侑珊 黃世麒）