【財訊快報／劉家熙報導】半導體廠瑞耘科技(6532)深耕靜電吸盤為多年，主攻半導體電漿製程設備的主流晶圓承載器，為製程中最關鍵的零組件，已成功協助蝕刻機台客戶維修其靜電吸盤，並通過台積電(2330)認證，正式取得其全球維修合約。

公司表示，在新品開發領域，則與多家設備客戶(於LED PSS、TSV Etch and CVD/PVD、半導體Etch、面板及自動化設備運用)簽署共同開發合約、並於今年正式與全球最大設備大廠共同開發下一世代的300mm 晶圓加熱器(亦屬靜電吸盤技術相關產品)。

瑞耘科技藉歷年來不斷的投入核心製造技術，如精密加工、表面處理、真空硬焊、陶瓷噴塗等，其中靜電吸盤開花結果，成為全球極少數能一條龍接力的完成靜電吸盤製造及測試的供應商，相較於競爭對手，具有快速打樣、交貨與成本的競爭優勢。瑞耘的高技術能量早能與主導市場之競爭對手相抗衡，且國內並無競爭對手。

在產品進度方面，2015年ESC維修合約、LED PSS、及面板設備客戶皆已導入量產,其他計畫皆為Alpha 及Beta 機台應用，預估近二年靜電吸盤及加熱器將進入營收快速成長期,而除了半導體奈米製程與國際設備大廠共同開發外，同時也切入新興且快速成長的先進封裝及自動化應用領域，後續展望值得期待。

瑞耘科技目前股本2.87億元，103年營收3.31億元，毛利率30%，稅後盈餘為4631萬元；累計前4月累計營收為1.28億元，今年公司營收與獲利上皆有大幅的成長性。