【財訊快報／劉敏夫】外電報導指出，一位熟知內情的消息人士透露，上海愛晟納電子科技集團在主導中國國產浸沒式深紫外(DUV)光刻機的生產。

知情人士表示，愛晟納的DUV光刻機預計還需要進一步測試，並且與艾司摩爾的同類競品「仍有較大差距」。

愛晟納已吸納了來自光刻初創公司宇量昇、上海微電子裝備的團隊。宇量昇去年已開始測試DUV原型機。

對於上述消息，艾司摩爾尚未回覆相關的置評請求。愛晟納及其股東、上海微電子裝備、宇量昇未回應置評請求。