【財訊快報／記者張家瑋報導】受惠台積電(2330)2奈米即將量產，特氣供應廠台特化(4772)無水氟化氫（AHF）及矽乙烷進入放量階段，其中AHF今年第一季即開始貢獻營收，在半導體線徑進入2奈米，矽乙烷彌補物理極限之不足，未來3年矽乙烷出貨量將出現等比級速成長，法人預期今年特氣稼動率將快速上升，AHF與矽乙烷今年營收貢獻將有高雙位數成長空間。

隨著半導體朝先進製程推進，半導體線徑微縮之物理極限已至，需要由化學特性來補足物理特性不足，台特化特氣產品即是未來大趨勢受益者，在7、5奈米以下，矽甲烷的化學反應性已無法符合線徑微縮需求，矽乙烷應用浮上檯面，矽乙烷化學特性效果比矽甲烷更好，於晶圓上可做更多蝕刻電路，平滑度更佳，反應溫度也更低，符合2奈米及以下之應用。

尤其台特化在矽烷類產品自行研發專利技術，相較同業生產製程更具環保、省電及省水競爭優勢，對於長期重視ESG環保議題的台積電而言，無疑最好的選擇，也因取得台積電認證，未來台特化產品可望快速通關，進一步滲透到其他Tier1晶圓廠。

此外，台特化另一產品矽丙烷其化學特性又更佳，目前採用客戶雖不多，在下一世代先進製程會獲得廣泛應用，正與國際設備大廠共同合作開發此領域，矽丙烷已小量銷售往德國、日本客戶，今年有望外銷拓展到美國市場。

AHF在去年下半年已推出，今年第一季即有客戶採用開始貢獻營收，主要應用於晶圓沉積薄膜蝕刻與機台設備內矽類殘留晶體的清潔移除，未來將廣泛應用於邏輯線路、3D記憶體達400層，AHF在先進製程用量極大，隨半導體製程節點推進，需求量亦倍數增加。