【財訊快報／記者張家瑋報導】中美晶集團(5483)旗下環球晶(6488)持續深耕北美矽晶圓市場之餘，未來化合物半導體布局亦有新動作。董事長徐秀蘭表示，目前美國德州謝爾曼市碳化矽產品僅侷限於EPI部分，未來碳化矽市場更成熟、技術掌握度更高之際，不排除下一階段於德州擴充興建碳化矽長晶產能。

環球晶宣布旗下子公司GlobalWafers America（GWA）及MEMC LLC與美國商務部(U.S. Department of Commerce)已簽署一份不具約束力的初步備忘錄，基於《晶片與科學法案》將獲得最高4億美元的直接補助，該補助將用於德州謝爾曼市（Sherman, Taxes）及密蘇里州聖彼得斯市（St. Peters, Missouri）先進矽晶圓廠之興建。

集團旗下環球晶在碳化矽及氮化鎵於美國市場均有布局，目前碳化矽晶圓主要生產基地於台灣，德州謝爾曼廠（Sherman）有一半產能生產6、8吋碳化矽EPI，已通過美歐Tier1客戶認證，這兩年出貨予客戶之EPI均由該廠交付，未來德州碳化矽EPI還有擴增產能空間。

徐秀蘭進一步解釋，碳化矽長晶需高達2000°C溫度，用電量、電費、供電品質是廠址選定一大考量因素，且碳化矽長晶速度慢，需要長晶爐機台數量多，因此，對於廠址面積空間要求高，在德州建置碳化矽產能有較低電力成本、土地取得容易等優勢，因此，未來碳化矽市場成熟，自身技術掌握度更高，不排除於德州擴增產能的可能性。

目前中美晶集團已可穩定產出6吋90微米及8吋350微米碳化矽超薄拋光晶圓，採自製長晶爐生產，長晶、切、磨、拋及研發以台灣為主，6吋年產約100萬片，由於歐美Tier 1客戶期望6吋轉8吋進度加快，其8吋350微米已於去年第四季送樣客戶，終端客戶以汽車、高端電源裝置應用為主。

而氮化鎵部分，目前氮化鎵產能主要以台灣為主，集團所投資之Transphorm，於今年6月，瑞薩半導體（Renesas Electronics）宣布完成對Transphorm收購，而Transphorm氮化鎵產能仍留在美國，中美晶集團未來會持續耕耘美國氮化鎵市場。