【財訊快報／編輯部】隨著全球半導體製程推進至2奈米以下世代，晶圓廠對潔淨室環境要求不斷拉升，氣態分子汙染物(AMC)解決方案需求快速攀升，包括濾能、鈺祥與來自瑞典的康法(Camfil)等大廠，在產業擴產潮與先進製程快速推進，主力客戶皆為台積電帶動下，近年罕見出現供應吃緊，甚至醞釀新一波漲價。

先進製程線寬線徑愈來愈窄，AMC對於製程良率的影響持續增加。因先進製程對於AMC微污染十分敏感，當製程持續演進，對AMC控制有更多的需求。

據了解，AMC氣體分子直徑約在0.3～1.5奈米，在5奈米製程下，大約只要5～17個氣體分子，便可佔滿5奈米線寬，造成不良率上升。